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Einführung in die Mikro-Fabrikation Micro Nanofertigung Nanotechnologie Molekulare Maschinen
Autor (en) / editor (s)
Sami Franssila
Veröffentlicht von
John Wiley & Sons
Product Information
422 PP
Veröffentlicht: Jun 01, 2004
Beschreibung
Microfabrication ist die Schlüsseltechnologie hinter integrierte Schaltungen, Mikrosensoren, photonischen Kristallen, Inkjet-Drucker, Solarzellen und Flachbildschirme. Microsystems kann kompliziert sein, aber die grundlegenden Mikrostrukturen und Prozesse der microfabrication sind recht einfach. "Introduction to Microfabrication" zeigt, wie die gemeinsame microfabrication Konzepte angewandt werden kann und immer wieder neu zu schaffen-Geräte mit einer Vielzahl von Strukturen und Funktionen.
Das Buch bietet eine umfassende Darstellung der grundlegenden Herstellungsverfahren. Er betont, Materialien und Mikrostrukturen, anstatt Gerät Physik. Eine vertiefte Diskussion über die Prozess-Integration enthalten ist, zeigt, wie die Prozesse, Materialien und Geräte interagieren. Eine Fülle von Beispielen für beide konzeptionelle und reale Geräte angegeben werden.
"Introduction to Microfabrication" umfasst 250 Hausaufgaben Probleme für Studierende, um sich mit Mikro-Skala Materialien, Abmessungen, Messungen, die Kosten und die Skalierung Trends. Forschung und Fertigung Themen werden behandelt, wobei der Schwerpunkt auf Silizium, das ist das Arbeitspferd der microfabrication. Dieses Buch dient als eine ausgezeichnete erste Text für Elektro-Ingenieure, Chemiker, Physiker und Wissenschaftler Materialien, wollen erfahren, Mikrostrukturen und microfabrication Techniken, sei es in MEMS, Mikroelektronik oder neuen Anwendungen.
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KMU-Identifizierung
Product ID: BK05PUB20
ISBN: 978-0470851067 |
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